首页 / 产品展示 / 射频电源
感应加热电源
直流电源
射频电源
成套设备
技术参数：输出频率13.56MHz、27.12MHz、40.68MHz，输出功率500~5000W。
应用领域：等离子清洗、等离子刻蚀、PECVD等。
功能特点
能耗低、体积小、使用寿命长。
控制精度高，稳定性高。
面板可显示和调节频率、设定功率、正向功率、反射功率、负载功率。
具有过压、过流、过反射、过温等保护功能。
支持多种通讯协议。
TOP
0379-62202805
